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真空泵是干什么用的,真空泵如何抽真空

作者:小编 发布时间:2022-04-08 11:01:42点击:

真空泵厂家分析真空压力控制系统如何优化。芯片的刻蚀工艺通常要在一个受控的真空环境下工作,反应腔的功能是在真空环境中保持工艺参数需要的压力,去除不需要的水汽、空气和附加反应物;创建一个能够使等离子体发生反应的真空环境。为了降低刻蚀机真空压力控制系统的成本,实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,同时为了提高真空系统的抽气速率和极限真空,系统中的腔、真空泵以及连接管路和阀门的选配是很重要的。

刻蚀机为了保证刻蚀工艺需要的稳定工作压力,大抽速真空系统是必不可少的组成部分。莱诺真空泵厂家详细地介绍反应腔、真空泵的选择、真空阀门的选配、真空计和真空检测开关、真空计和真空检测开关和连接管路。

关于真空系统的基本概念,东莞市莱诺机电科技有限公司整理出下面的内容。

1、真空度

真空度是指一个封闭空间内的气体压力小于外界大气压力的程度,其值也在零和大气压力之间,但其意义与绝对压力相反。当真空度为零时,表明封闭空间处于常压状态;当真空度等于大气压力时,表明封闭空间内不存在任何物质处于全真空状态。

2、最大真空度

最大真空度,有的称极限真空度,也有称极限真空,均指真空泵抽气时可以达到的最低绝对压力值,是真空泵的基本工艺性能参数。其单位各样本不一,选用时注意单位换算。

3、抽气速率

它主要包括定量、流量和抽气速率。定量的气体分子在指定的温度下其占据的空间体积与气体压力有关。流量指单位时间内通过真空系统某一断面的气量。抽气速率指单位时间内,由真空泵从封闭空间内抽出的气体体积数。封闭空间的气体体积与其绝对压力有关。

4、封闭空间的抽气速率

封闭空间的抽气速率是指将一个封闭空间造成一定真空时所需的抽气速率,是被抽气体在出离封闭空间处的速率。其影响因素主要有:

①漏入封闭空间的外界空气量。虽然有些封闭空间可以做到只有极低的空气泄漏量,但几乎没有一个能达到完全气密。实践证明,必须考虑空气泄漏量。

②泄漏空气中饱和的可凝蒸气量。对一个存在气液两相的封闭空间,在抽气造真空时,其液面上的可凝蒸气也将被抽走,所以必须考虑这些可凝蒸气的量。

③生产过程释放的空气量和不凝气体量。

5、真空泵的抽气速率

真空泵的抽气速率是指真空泵本身具有的抽气速率,是被抽气体在真空泵进囗处的速率,它是真空泵的另一个基本工艺性能参数。

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